新闻中心您的位置:网站首页 >新闻中心 >MEMS传感器

MEMS传感器

发布时间:2017-11-06   点击次数:911次

    与在主管中进行测量的在线式传感器不用,MEMS传感器是在旁路管道中进行测量的主管道中的层流元件产生一个必须的压差使小部分流量进入旁路管道旁路管道内璧上装有带膜的硅芯片用于测量流量采用MEMS传感器技术在这块膜上有一个加热电阻和两个对称的温度传感器分别位于上游和下游)。如使加热电阻保持在一个恒定温度则两个温度传感器的电压差即可用于测量旁路通道内流过芯片的气体的质量流量在该温度传感器的热量低与介质直接接触因此具有许多特定的优势其中之一就是对于流量变化的响应极快MEMS传感器的MFC的响应时间只有百毫秒且灵敏度高,即使流量很小时也是如此。

返回列表返回顶部

上一篇 : 毛细管传感器

   

下一篇 :  立冬

联系我们

contact us

咨询电话

13386428896

扫一扫,关注我们

返回顶部